勻膠旋涂儀的使用步驟:
1、開機前準備:清理殘余物,選擇合適的吸盤,并將樣品放在吸盤正中央。
2、開機與設定:打開電源,設定涂布的時間和轉(zhuǎn)速,并啟動真空吸附。
3、涂布:滴加光阻劑,并啟動涂布過程。
4、完成涂布后,關(guān)閉真空和電源,取下樣品。
本公司提供的L2001勻膠旋涂儀操作簡單,方便實用,旋涂均勻,結(jié)構(gòu)小巧緊湊,占地面積小,節(jié)省超凈間的使用面積,為實驗室提供了理想的解決方案,其采用創(chuàng)新設計的非真空卡盤式旋涂吸盤,無需真空泵或充氮氣,就能達到很好的旋涂效果。勻膠旋涂儀可對大小不同規(guī)格的基材都可進行旋涂,尤其是對超薄樣品,即使基片厚度0.7毫米、0.55毫米、0.2毫米或更薄時同樣能達到旋涂效果。不會出現(xiàn)真空吸盤旋涂較薄的基材襯底翹曲現(xiàn)象,影響涂層的均勻性。
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